ich habe Folgendes:
selbstentworfenes 4 Punktmessgerät (SMU und DMM und Elektroden und -gehäuse), das kalibriert werden muss.
Ich messe den Schichtwiderstand.
Kalibrier ich über U/I oder über Ohm*länge bzw. Fläche.
Da ich ja verschiedene Formeln für dünne, dicke und unendliche dicken Proben habe, würde die U/I Kalibrierung reichen oder?
Oder ist es besser an fest definierten Schichtwiderständen die Kalibrierung durchzuführen? Wenn ja könnt ihr mir ein Messhunt für Schichtwiderstände empfehlen?
Habe ich sonst etwas nicht beachtet?
Vielen Dank im Voraus!
